Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

High resolution grazing incidence diffraction on lateral nanostructures created by focused ion beam implantation on semiconductor surfaces

Grenzer, J.; Bischoff, L.; Posselt, M.; Pietsch, U.

• Lecture (Conference)
  Deutsche Tagung für Forschung mit Synchrotronstrahlung, Neutronen und Ionenstrahlen an Grossgeräten (SNI-2006), 04.-06.10.2006, Hamburg, Germany

Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-9865