Publications Repository - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
3 PublicationsP0313 - Verfahren zur Erzeugung verbesserter heteroepitaktischer gewachsener Siliziumkarbidschichten auf Siliziumsubstraten
Skorupa, W.; Panknin, D.; Ferro, G.; Gebel, T.; Yankow, R.
Abstract
Aufgabe der Erfindung ist ein Verfahren, mit dem es möglich ist, die in der unteren Schicht vorhandenen gewünschten Eigenschaften der mit Lichtimpulsen behandelten Substrate für den weiteren Prozess verwertbar zu machen und die Welligkeit der Schicht zu verringern oder zu vermeiden.
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Patent
DE 103 44 986 A1 -
Patent
WO 2005/031825 A1 -
Patent
DE 103 44 986 B4 - 23. Okt. 2008
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-5971