AJA sputter chamber

• 5 confocal sputter guns
• 1 face-to-face sputter gun
• 2 rf sources possible
• max. substrate size 3" with substrate rotation
• high vacuum

Responsible: T. Naumann

Bestec sputter chamber

• 8 sputter guns, face-to-face&confocal
• 2 RF sources
• Ion source
• max. sample size 4" (100 mm)
• substrate rotation up to 36 rpm
• temperature range: RT - 1200 K
• ultrahigh vacuum

Responsible: T. Naumann

ALDI: apparatus for layer deposition and interfaces

• Manufacturer: Createc
• MBE:
  • 5 pocket e-beam evaporator
  • 4 Knudsen cells
  • EFM3 evaporator
• Ion source: Model Kremer IQ100
• Plasma source
• LEED
• AES
• sample size 10 x 10 mm²

Responsible: K. Potzger

Sputnik: sputter chamber

• sample size 10 x 10 mm²
• temperature range: RT - 1000 °C
• 2 targets
• base pressure 1e-10 mbar
• sputter pressure 3e-3 mbar at 43 sccm Argon

Responsible: K. Potzger

1. Superconducting Quantum Interference Device - SQUID

• Typ: Quantum Design MPMS
• Feld: max. 7 T
• Temperaturbereich: 1.9 – 400 K
• Empfindlichkeit: < 10^-8 emu

Verantwortlich: K. Potzger

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2. Ferromagnetische Resonanz - FMR

• Eigenentwicklung

• Agilent E8364B Vektornetzwerkanalysator:

  Frequenzbereich 0.05 - 50 GHz

• Bruker Elektromagnet: max. 2.2 T

• automatische polare und azimutale Rotation der Probe

• Helmholtzspulen: max 0.1 T

Verantwortlich: K. Lenz

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2b. Tieftemperatur Ferromagnetische Resonanz

• Attocube Attodry 1000 closed cycle Kryostat
• 5 T split-coil Magnet
• Temperature: 4 - 300 K
• Agilent N5225A Vector Network Analyzer:
• Frequenzbereich 0.05 - 50 GHz
• full polar and azimuthal sample rotation

Verantwortlich: K. Lenz

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3. Time-Resolved Magneto-Optical Kerr Effect

• Eigenentwicklung
• Delay time up to 5 ns
• Feld: max. 1 T
• Femtolasers XL500
• Wavelength: 800 nm
• Pulse-Length 40 fs
• Repetition rate: 5 MHz
• Output Power: 2.6 W
• Energy: 500 nJ/pulse

Verantwortlich: H. Schultheiß

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4. Magneto-Optical Kerr Effect - MOKE

• Eigenentwicklung
• Longitudinaler und transversaler Kerr-Effekt
• Feld (in-plane): max. 400 Oe (Helmholtzspulen)
• x, y, f Rasterung
• Temperaturbereich: RT – 600 K

Verantwortlich: H. Schultheiß

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5. Kerr-Mikroskop

• Hersteller: Evico-Magnetics
• Mikroskop: Zeiss Axio Imager.D1m
• Beleuchtung: 2x high-power LED (rot/blau)
• Bipol/Quadrupolmagnet
• Zweifarbsystem zur quantitativen Kerranalyse
• integrierte AMR-Messung

Verantwortlich: H. Schultheiß

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6. Spitzenmessplatz für Nanostrukturen

• Süss MicroTech PM5 Wafer Prober
• Süss Z-Probes: GSG 0-50 GHz, 150µm Pitch
• Evico Magnetics Elektromagnet: B_max=
• Optem CCD-Mikroskop
• Agilent MXA Spektrumanalysator
• Tektronix DPO72004 Realtime Oszilloskop (20 GHz)
• Picosecond PulseLab Pulser

Verantwortlich: K. Lenz

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8. Frequenzaufgelöster MOKE - FR-MOKE

• optisch detektierte FMR (5 µm Ortsauflösung)
• Magnetfeld bis zu ca. 1.4 T
• Kepco Netzgerät
• Frequenzbereich bis zu 35 GHz

Verantwortlich: K. Lenz

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