Blitzlampentemperung

• verschiedene Anlagen für
  • 100 mm
  • 150 mm
  • 300 x 200 mm
  • 1200 x 1200 mm (in Freiberg)
• Tempergase: Vakuum, N₂, Ar, O₂
• Pulszeiten: 0.5-20 ms
• Vorheizung bis 1000°C
• Energiedichten bis 150 Jcm^-2
• Temperaturen bis 2000°C (abhängig von Vorheizung und Lichtabsorption)
• Maschinenbelegung

Verantwortlich: T. Schumann, L. Rebohle, S. Prucnal

Magnetronsputtern

• Hersteller: Rovak
• staubarmer Arbeitsplatz
• bis 200 x 300 nm (Carriergröße)
• kann mit in-situ FLA kombiniert werden
• 75 mm Sputterquellen
  • Al, Cr, Cu, Fe, Ge, Mn, Ni, Si, Sn, Ti, TiN
  • Multischichten mit zwei Sputterquellen
  • andere Metalle auf Anfrage
• 30 mm Sputterquelle: Au

Responsible: T. Schumann

Plasmagestützte Abscheidung aus der Gasphase (PECVD)

• Hersteller: Oxford Instruments
• staubarmer Arbeitsplatz
• bis 8 Zoll
• Hochtemperaturelektrode bis 750°C
• Schichtmaterialien:
  • SiO₂
  • Si₃N₄, SiO_xN_y
  • amorphes oder polykristallines Si, Ge

Verantwortlich: L. Rebohle

mit FWIO: Atomlagenabscheidung (ALD)

• Hersteller: Ultratech/CambridgeNanotechALD
• bis 4 Zoll
• Abscheidetemperatur 80 - 350°C
• Schichtmaterialien:
  • Al₂O₃, HfO₂, ZnO
  • Mischschichten (auf Anfrage)

Verantwortlich: L. Rebohle (FWIM), T. Schönherr (FWIO)

Laserausheilung: COMPexPRO 201  

• Hersteller: Coherent
• Gepulter Laser (10 Hz)
• Wellenlämge: 308 nm
• Pulsdauer: 30 ns
• Max. Energie: 500 mJ pro Puls

Verantwortlich: S. Zhou

Glovebox

• Hersteller: GS Systemtechnik GmbH
• Inerte Ar-Atmosphäre (O₂ und H₂O < 0.5 ppm)
• 2 Arbeitsplätze
• Thema: Assemblierung von Li-Ionen-Batteriezellen

Verantwortlich: C. Cherkouk

Hall-Effekt-Messsystem HMS 9709A von LakeShore:

Messung von elektrischen Transportgrößen (Widerstand, Ladungsträgerdichte und Beweglichkeit) in Abhängigkeit von Temperatur und Magnetfeld.

• Temperaturbereich:                2.5 - 400 K
• Maximales Magnetfeld:                      9 T
• Maximale Probengröße:           13 x 16 mm²
• Strombereich:                         1 pA - 100 mA
• Widerstandsbereich:            40 µΩ - 200 GΩ

Verantwortlich: S. Zhou

Widerstandsmessung

• 200 mm 4 Point Probe System Aitco CMT 2000
• 400 x 300 mm Flat Panel 4 Point Probe System Aitco CMT 3000

Verantwortlich: T. Schumann

Optische Messplätze

• Photolumineszenz
• Elektrolumineszenz
• Transmissionsmessung an Wellenleitern

Verantwortlich: S. Prucnal, L. Rebohle

Quantum Design: SQUID-VSM

Das SQUID-VSM ist ein hochempfindliches Magnetometer das die Empfindlichkeit eines SQUID (Superconducting Interference Device) mit der höheren Geschwindigkeit eines VSM (Vibration Sample Magnetometer) kombiniert. Man kann sehr schwache magnetische Signale messen (sowohl Temperaturabhängigkeit als auch Magnetfeldabhängigkeit).

• Temperaturbereich: 1.8 - 400 K
• Feld:  - 7 T  to +7 T
• Empfindlichkeit: 10^-7 - 10^-8 emu

Verantwortlich: S. Zhou