Kontakt

Dr. Stefan Facsko

Lei­ter des Ionen­strahl­zentrums
s.facskoAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2987

Dr. Silke Merchel

Wissen­schaftlerin
Beschleuniger-Massen­spek­tro­metrie und Isotopen­for­schung
s.merchelAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2802
+49 351 260 3701
+49 351 260 3798
Fax: +49 351 260 12802

Zusätzliche Dienstleistungen des IBC

Nutzer des Ionenstrahlzentrums können auf zusätzliche Dienstleistungen zur erfolgreichen Durchführung ihres Experimentes zurückgreifen. Die Nutzung dieser Dienstleistungen kann nur im Zusammenhang mit einem akzeptierten Experiment und im Rahmen einer angemessenen Resourcennutzung in Anspruch genommen werden.

Unter anderem wird folgender Add-On Service angeboten:

Probenherstellung und Probenverarbeitung

  • Trennen, Polieren, chemisches Reinigen und Ätzen von Proben
  • Oberflächenstrukturierung mit Lithographie (optisch einschließlich Laser, Elektronenstrahlen, Ionen) 
  • Thermische Bearbeitung mit Ofenanlagen, Kurzzeit-Temperanlagen, Blitzlampen, Laser (Excimer, Dioden)
  • Dünnschichtabscheidung (Sputtern, Elektronenstrahl- und thermische Verdampfung)
  • Herstellung einfacher Bauelementestrukturen

Die Probenpräparation und Prozessierung von Bauelementen erfolgt größtenteils unter Reinraumbedingungen (ISO-5 Reinraum).

Zugang zur AMS Probenaufbereitung

Messverfahren und Charakterisierung

  • Optische und elektrische Charakterisierungstechniken (Raman, IR, PL; IU, CV, STM u.a.)
  • Elektronenmikroskopie und -spektroskopie (SEM, HIM, TEM, AES, XPS)
  • Röntgenuntersuchungen (Reflektometrie, Beugung, Kleinwinkelstreuung)

Simulation und Datenanalyse

  • Simulation von Ionen-Festkörper-Wechselwirkungen (Dotieren, Defekte, Ionenstrahlmischen)
  • Simulation der Oberflächenstrukturierung (Sputtern, Oberflächendiffusion)
  • Datenauswertung bei der Ionenstrahlanalytik

Kontakt

Dr. Stefan Facsko

Lei­ter des Ionen­strahl­zentrums
s.facskoAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2987

Dr. Silke Merchel

Wissen­schaftlerin
Beschleuniger-Massen­spek­tro­metrie und Isotopen­for­schung
s.merchelAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2802
+49 351 260 3701
+49 351 260 3798
Fax: +49 351 260 12802