Methode des streifenden Einfalls (GI-XRD)

Bei Röntgendiffraktion an dünnen Schichten wird die Methode des streifenden Einfalls benutzt um die Empfindlichkeit für die Streubeiträge aus der Schicht zu erhöhen. Bei flachen Einfallswinkeln begrenzt hauptsächlich die Absorption die Eindringtiefe (Materialdicke bei der Primärintensität auf 1/e geschwächt wurde) und damit die Informationstiefe des Experiments.


GIX 2 Bild 1: 
Eindringtiefe von Kupferstrahlung für verschiedene Materialien in Abhängigkeit vom Einfallswinkel.  

Bei dieser Methode geht die Selbstfokussierung des getreuten Röntgenstrahles verloren; die durch den Röntgenstrahl beleuchtede Fläche wird durch den Einfallswinkel vorgegeben. Deshalb muß im gestreuten Strahl ein Kollimator eingesetzt werden. Die Auflösung (Halbwertsbreite der Maxima) wird in diesem Fall durch den Öffnungswinkel des Kollimators bestimmt und ist etwa 3-mal schlechter als bei der Pulverdiffraktion.

 

GIX

Bild 2: 
Schema des Messaufbaus für Dünnschichtuntersuchungen mit Röntgendiffraktion. 

Beim Dünnschicht-Diffraktometern wird neben der Blende ein Göbel-Spiegel im Primärstrahlengang angeordnet. Dieser kollimiert die Strahlung von der Röhre was einen Intensitätsgewinn vom Faktor 4 bis 7 bewirkt. 

 


 

 
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