Analytische Rasterelektronenmikroskopie (REM)
REM - Rasterelektronenmikroskop
Foto: René Hübner
Ausrüstung
- Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop Hitachi S-4800 (bis 30 kV)
- Analytischer EDXS-Zusatz (energiedispersive Röntgenspektroskopie) mit digitalem Pulsprozessor: Si(Li)-Detektor mit S-UTW-Fenster (INCA, Oxford Instruments), Elementnachweis für Z ≥ 5
Arbeitsfelder
Das REM wird für vielfältige Inspektionen und Analysen von Oberflächen, Ablagerungen oder Bruchflächen eingesetzt. Es wird von Forschern aus allen Instituten des HZDR genutzt und steht auch externen Partnern zur Verfügung.
Repräsentative Arbeitsthemen sind:
- Oberflächenveränderungen nach Ionenimplantation
- Analyse von Strukturen, die mit dem Ionenfeinstrahl "geschrieben" wurden
- Charakterisierung abgeschiedener Dünnschichten
- Analyse von Halbleiterbauelementen
- Aufnahme von Elementverteilungen in Gesteinsschliffen
- Teilchenform und -größe von Aerosolen
- Untersuchung von Bakterien
- Untersuchung von Kolloidpartikeln in Bergwerkswässern
Die energiedispersive Röntgenanalyse gestattet die chemisch-analytische Identifizierung von mikroskopisch kleinen Einschlüssen, Phasen und Inhomogenitäten aller Art. Eine quantitative Elementbestimmung für einzelne Punkte (minimale Grösse ca. 1-2 µm), Linien oder Flächen ist möglich. Dabei kann die Informationstiefe bis zu einigen Mikrometern betragen.