Reinraum
Das Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung betreibt ein Reinraumlabor mit insgesamt 320 m2 einschließlich vier Büro- und Meßräumen. Die Aufgabe des Reinraumlabors ist die Gewährleistung guter Präparationsbedingungen im Rahmen des Institutes für die Prozessierung bzw. Herstellung von Halbleiterproben, Dünnschichtsystemen sowie Bauelemente-Teststrukturen für die Ionenstrahl- und Materialforschung.
Das gesamte Reinraumlabor, das im August 1998 in Betrieb genommen wurde, ist ein dreistöckiges Gebäude, das unmittelbar in das Ionenstrahlzentrum integriert und folgendermaßen ausgelegt ist:
- Obergeschoß mit Luft- und Klimatechnik sowie Kühlwasserversorgung,
- Erdgeschoß mit Reinraum-Laborräumen und
- Kellergeschoß mit Medienversorgung sowie die Gas- und
- Wasserversorgung.
Das Reinraumlabor ist unterteilt in:
- 100m2 der Reinraumklasse 500.000 mit den Meßplätzen und Testeinrichtungen
- 100 m2 der Reinraumklasse 100.000 mit den Servicebereichen
- 90 m2 der Reinraumklasse 1.000
- 40 m2 Arbeitsflächen mit der Reinraumklasse 100
die eine ausgezeichnete Basis für halbleitertechnologische Forschungen im Rahmen der wissenschaftlichen Forschungsthemen Nanostrukturen, Materialien für die Optoelektronik sowie Dotierung & Defekte in Halbleitern bilden.
Der eigentliche Reinraum ist unterteilt in 5 Sektionen:
- Naßchemische Prozesse (Standardprozesse)
- Fotolithografie
- Oxydation, Diffusion, Temperung
- Physikalische Dünnschicht-Abscheidung & reaktives Ionen-Ätzen
- Nasschemisches Ätzen (Spezialprozesse)