Fokussierte Ionenstrahlen für Nanostrukturen
Fokussierte Ionenstrahlen (Focused Ion Beams, FIB) finden im Forschungsthema Nanostrukturen folgende Anwendungen:
- Ionenstrahlsynthese von Nanostrukturen
- Defektbildung und dynamische Ausheilung bei FIB Implantation
- Ga+ FIB-Implantation und selektives nasschemische Ätzen für 3D-Nanostrukturen
- Nanometrische Ripple-Bildung bei FIB-Bestrahlung
- Lokales FIB-Sputtern zur Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen
- Entwicklung und Test von Flüssigmetall-Legierungs-Ionenquellen (LMAIS)