|
Das Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung besitzt eine langjährige Expertise bei der Anwendung von Ionenstrahlen für die Modifikation oder die Analyse von Festkörperoberflächen insbesondere bei Halbleitern und Metallen bzw. metallischen Legierungen.
Als überregionales Zentrum für Ionenstrahlanwendungen, vermittelt das Institut seine wissenschaftlich-technischen Kenntnisse an Partner in Forschung und Industrie und stellt seine Anlagen zur Ionenimplantation, HE-Ionenimplantation, zur Ionen- und plasmagestützten Schichtabscheidung und zur Ionenstrahlanalytik, die Ionenenergien im Bereich von wenigen 10 eV bis zu einigen 10 MeV liefern, auch externen Messgästen gern zur Verfügung.
|
hzdr.de
