Instrumentelle Ausstattung und Geräte
- Abscheidung und Kurzzeittemperung
- Elektrische Charakterisierung
- Optische Charakterisierung
- Magnetische Charakterisierung
Abscheidung
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Blitzlampentemperung
Verantwortlich: T. Schumann, S. Prucnal |
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Plasmagestützte Abscheidung aus der Gasphase (PECVD)
Verantwortlich: L. Rebohle |
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Abscheidung durch Laserablation (PLD)
Verantwortlich: I. Skorupa |
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mit FWIO: Atomlagenabscheidung (ALD)
Verantwortlich: L. Rebohle (FWIM), T. Schönherr (FWIO) |
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Laserausheilung: Activationline 12
Verantwortlich: S. Zhou |
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Laserausheilung: COMPexPRO 201
Verantwortlich: S. Zhou |
Elektrische Charakterisierung
Bild | Beschreibung |
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Hall-Effekt-Messsystem HMS 9709A von LakeShore:Messung von elektrischen Transportgrößen (Widerstand, Ladungsträgerdichte und Beweglichkeit) in Abhängigkeit von Temperatur und Magnetfeld.
Verantwortlich: S. Zhou |
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Widerstandsmessung
Verantwortlich: T. Schumann |
Optische Charakterisierung
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Optische Messplätze
Verantwortlich: J. Bhattacharyya (FWIH), L. Rebohle |
Magnetische Charakterisierung
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Quantum Design: SQUID-VSMEs kombiniert die Empfindlichkeit eines SQUID (Supraleitendes Interferenz Device) mit der höheren Geschwindigkeit eines VSM (Vibration Sample Magnetometer). Man kan das schwache magnetische Signal messen (sowohl Temperaturabhängigkeit als auch Magnetfeldabhängigkeit).
Verantwortlich: S. Zhou |
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Quantum Design: SQUID-MPMSMan kan das schwache magnetische Signal messen (sowohl Temperaturabhängigkeit als auch Magnetfeldabhängigkeit). Die Messgeschwindigkeit ist viel niedriger als bei SQUID-VSM. Aber wir haben einen Ofen installiert und man kann bei Temperaturen von 800 - 1000 K messen.
Verantwortlich: S. Zhou |