Kontakt

Dr. Stefan Facsko

Lei­ter des Ionen­strahl­zentrums
s.facskoAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2987

IBC Overview - Methods & Instrumentation

Das Ionenstrahlzentrum (IBC) am HZDR betreibt verschiedene Ionenstrahlanlagen (elektrostatische Beschleuniger, Ionenimplanter, andere Ionen- und Plasma-Geräte) als eine einzigartige Anlage, die hauptsächlich zur Ionenstrahlmodifikation und Ionenstrahlanalyse von Materialien verwendet wird. Der verfügbare Energiebereich variiert von 10 eV bis fast 100 MeV mit einer jeweiligen Wechselwirkungstiefe in Festkörpern zwischen 0,1 nm und 10 µm. Neben Standard-Breitstrahlen stehen auch fokussierte (bis 1 nm) und hochgeladene (Ladungszustand bis 45+) Ionen zur Verfügung.

Eine schematische Übersicht des IBC ist in der folgenden Abbildung dargestellt:

IBC overview 2021

Für den Benutzerzugang angebotene Experimentierstationen sind im IBC-Plan durch Nummern gekennzeichnet. Weitere Einzelheiten zu den verschiedenen Techniken, die an diesen Endstationen verfügbar sind, finden Sie in der folgenden Tabelle. Für technische Details wenden Sie sich bitte an den zuständigen Wissenschaftler oder werfen Sie einen Blick auf die entsprechenden Geräteseiten.

Ion Beam Modification

Application / Method GATE
Beamline
Acronym Machine End­station(s) Local
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Ionenimplantation Ionenimplantation / Ionenbestrahlung II 40 kV Implanter 16 U. Kentsch
500 kV Implanter 17, 18
3 MV Tandem 12 S. Akhmadaliev
3 MV Tandem 14, 15
6 MV Tandem 3, B1
Ga FIB FIB Experimente FIB NVision 40 F1 G. Hlawacek
Massensepariertes FIB FIB IMSA-100 F2
He / Ne Ionenmikroskop IM ORION NanoFab F3
Niederenergie Ionenstrahlen LEI/HCI Experimente LEI diverse \ S. Facsko
Experimente mit hochgeladenen Ionen HCI diverse  

Ion Beam Analysis

Application / Method GATE
Beamline
Acronym Machine End­station(s) Local
Contact
RBS-Standard-RBS + Channelling Ionenstrahlanalyse RBS/C 2 MV van de Graaff A1, A2 R. Heller
Schwerionen RBS HI-RBS 3 MV Tandem 11
Analytische Ionenmikrosonde Analytische Ionenmikrosonde IMP 13
Kernreaktionsanalyse Ionenstrahlanalyse NRA 3 / 6 MV Tandem 1, 13
Elastische Rückstreudetektionsanalyse ERDA 6 MV Tandem 2
in-situ Ionenstrahlanalyse ISIBA 9
Ionenstrahlanalyse mit externem Protonstrahl Externer Protonstrahl ExtB 5
Beschleunigermassenspektrometrie Beschleunigermassenspektrometer AMS B2 T. Wallner

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Dr. Stefan Facsko

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