Ioneninduzierte Nanostrukturen

Beschuss eines Festkörpers mit energetischen Ionen führt zu Materialabtrag von der Oberfläche. Dieser Prozess heißt „Ionenerosion“ oder „Ionsputtern“ und wird häufig in der Industrie als einfache Technik benutzt um Oberflächen aufzurauen, zu glätten oder zu säubern. Der ständige Energieeintrag durch den Ionenstrahl treibt außerdem die Oberfläche aus dem thermodynamischen Gleichgewicht wodurch unterschiedliche Prozesse auf und unterhalb der Oberfläche induziert werden.

Ioneninduzierte Oberflächenprozesse 

Wir untersuchen diese Prozesse während des niederenergetischen Ionenbeschusses, insbesondere im Hinblick auf die kontrollierte Modifikation und Nanostrukturierung von Oberflächen.

Unsere wissenschaftlichen Themen umfassen:

Siliziumoberfläche nach 500 eV Ar+ Sputtern unter 67° 3D AFM Bild von CaF2 Pits HIM Trimer

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Aktuelle Veröffentlichungen:

2019

Morphology modification of Si nanopillars under ion irradiation at elevated temperatures: plastic deformation and controlled thinning to 10 nm

X. XuORC, K.-H. Heinig, W. Möller, H.-J. Engelmann, N. KlingnerORC, A. Gharbi, R. Tiron, J. Borany, G. HlawacekORC

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Strain Anisotropy and Magnetic Domains in Embedded Nanomagnets

M. Nord, A. Semisalova, A. Kákay, G. HlawacekORC, I. Maclaren, V. Liersch, O. Volkov, D. Makarov, G. W. Paterson, K. Potzger, J. Lindner, J. FaßbenderORC, D. Mcgrouther, R. Bali

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  • verfügbar mit HZDR-Login

Stationary beam full-field transmission helium ion microscopy using sub-50 keV He+: Projected images and intensity patterns

M. Mousley, S. Eswara, O. de Castro, O. Bouton, N. KlingnerORC, C. T. Koch, G. HlawacekORC, T. Wirtz

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  • verfügbar mit HZDR-Login

Lithium Ion Beams from Liquid Metal Alloy Ion Sources

W. Pilz, P. Mazarov, N. Klingner, S. Bauerdick, L. Bischoff

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Time-of-flight secondary ion mass spectrometry in the helium ion microscope

N. KlingnerORC, R. Heller, G. HlawacekORC, S. FacskoORC, J. von Borany

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Kontakt

Dr. Gregor Hlawacek

Ionen Mikroskopie
Ionen­induzierte Nano­struk­turen
g.hlawacekAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 3409