Kontakt

Dr. Stefan Facsko

Lei­ter des Ionen­strahl­zentrums
s.facskoAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2987

Die Arbeitsgruppe Ionenstrahlanalytik befasst sich mit der zerstörungsfreien, quantitativen Elementanalyse von Oberflächen und Grenzflächen mittels Ionenstrahlen. Dabei kommen verschieden moderne Ionenstrahltechniken zum Einsatz welche höchste Tiefenauflösung (nm), kleinste Strukturgrößen (50nm) sowie niedrigste Nachweisgrenzen (ppm) erlauben. Teilweise sind diese Techniken in multifunktionalen Experimentaufbauen an komplementäre Strukturanalyse sowie Probenpräparation-Techniken gekoppelt.

  • Rutherford-Rückstreuung (RBS)
  • Rückstoßatom-Spektrometrie (ERDA)
  • Nukleare Resonanzreaktions-Analytik (NRA)
  • Protonen-induzierte Röntgen- und Gammaspektroskopie (PIXE / PIGE)
  • Beschleuniger-Massenspektrometrie (AMS) - in Kooperation HIF
Gruppenleitung: René Heller

Strukturdiagnostik

Die Abteilung Strukturdiagnostik widmet sich dem Studium der Mikrostruktur vorwiegend von ionenimplantierten Proben. Sie ist thematisch mit den Aufgaben der anderen Abteilungen des Institutes verbunden und stärker methodisch orientiert.


TEM FWIS

Verfügbare Methoden der Strukturdiagnostik

Diese Methoden und Geräte werden in beachtlichem Umfang für Untersuchungen von Proben anderer Institute des HZDR eingesetzt. Die untersuchungsspezifische Probenpräparation wird in der Abteilung vorgenommen (insbesondere für Elektronenmikroskopie). 


Untersuchungsschwerpunkte

Methoden

Phasenanalyse / Phasenbildung und Gitterverzerrungen in Schichtstrukturen TEM, XRD
Struktur von dünnen Schichten sowie deren Grenzflächen REM, TEM, XRD, XRR
Elementzusammensetzung in Mikrobereichen AES, EDX im REM und TEM
Oberflächen- und Grenzflächenrauhigkeiten  TEM, XRR

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Dr. Stefan Facsko

Lei­ter des Ionen­strahl­zentrums
s.facskoAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2987