Publikationsrepositorium - Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf
1 PublikationDefect agglomeration in ion implanted silicon away from RP
Kögler, R.; Yankov, R. A.; Skorupa, W.
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Vortrag (Konferenzbeitrag)
XIIth Int. Conf. Ion Implantation Technology (IIT´98), Kyoto, Japan, June 22-26, 1998
Permalink: https://www.hzdr.de/publications/Publ-2242