Kontakt

Dr. Stefan Facsko
Leiter des Ionenstrahlzentrums
Ioneninduzierte Nanostrukturen
s.facskoAthzdr.de
Tel.: +49 351 260 2987
Fax: +49 351 260 12987, +49 351 260 2879

Abteilung Ionenstrahlzentrum

Die Abteilung Ionenstrahlzentrum befasst sich mit der Modifikation und Analyse von Festkörperoberflächen unter Nutzung von Ionen in einem weiten Energiebereich (eV bis MeV). Die Abteilung sichert den Betrieb und die methodische Entwicklung einer Vielzahl von Ionenstrahl- und Plasmaverfahren. Die Nutzung der Anlagen für die Materialforschung erfolgt in enger Zusammenarbeit mit den anderen Institutsabteilungen. Zur umfassenden Materialcharakterisierung werden neben der Ionenstrahlanalytik auch die Elektronenmikroskopie (TEM, REM, Cross-Beam-Anlagen) sowie röntgenbasierte Analysetechniken zur Strukturaufklärung eingesetzt. F&E-Arbeiten zur Anwendung ioneninduzierter Effekte oder Strukturen für opto- und nanoelektronischen Bauelemente können in einem Klasse 100 Reinraum durchgeführt werden.

Als Nutzereinrichtung steht das Ionenstrahlzentrum (IBC) nationalen und internationalen Partnern für die wissenschaftliche Forschung und in Zusammenarbeit mit der HZDR Innovation GmbH als Serviceeinrichtung zur Verfügung. 


Projektgruppen

Foto: 500kV Implanter_ausschnitt ©Copyright: HZDR

Ionen­techno­logie

Gruppenleitung
Dr. J. von Borany
Foto: TEM FWIS_auschnitt ©Copyright: hzdr

Ionen- und Strukturanalytik

Gruppenleitung
Dr. S. Facsko
Foto: HZDR Logo im Fliegenauge ©Copyright: Dr. Roman Böttger

Ionen­induzierte Nano­struk­turen

Gruppenleitung
Dr. S. Facsko
Foto: Nanoparkwafer_ausschnitt ©Copyright: HZDR

Prozess­techno­logie / Reinraum

Gruppenleitung
Dr. A. Erbe
Foto: Atomistic Simulation IBC ©Copyright: Dr. Arkady Krasheninnikov

Atomistische Simulation ionen­induzier­ter Phänomene

Gruppenleitung
Dr. A. Krasheninnikov

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Dr. Stefan Facsko
Leiter des Ionenstrahlzentrums
Ioneninduzierte Nanostrukturen
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